蓋世汽車訊 據(jù)外媒報道，泛林集團（Lam Research）首次推出生產(chǎn)型脈沖激光沉積（PLD）工具，以實現(xiàn)新一代基于微機電系統(tǒng)（MEMS）的麥克風和射頻（RF）濾波器。Lam的Pulsus?可編程邏輯器件系統(tǒng)（Pulsus? PLD system）可提供目前具有最高鈧含量的氮化鋁鈧（AlScN）薄膜，為實現(xiàn)具有增強性能、容量和功能的先進消費和汽車設(shè)備鋪平了道路。Pulsus現(xiàn)已面向部分專用設(shè)備制造商發(fā)貨。

（圖片來源：泛林集團）

Lam將Pulsus PLD加入產(chǎn)品組合，進一步擴展了其聚焦專業(yè)技術(shù)的沉積、蝕刻和單晶圓清潔產(chǎn)品的綜合范圍，以及該公司在這一領(lǐng)域的持續(xù)創(chuàng)新。

泛林集團副總裁兼客戶支持業(yè)務(wù)集團總經(jīng)理Chris Carter表示：“憑借在特種半導(dǎo)體技術(shù)方面深厚的專業(yè)知識、在沉積領(lǐng)域經(jīng)過驗證的能力，以及與法國原子能委員會電子與信息技術(shù)實驗室（CEA-Leti）的戰(zhàn)略合作，本公司在經(jīng)過生產(chǎn)驗證的2300?平臺上為客戶帶來了這一變革性解決方案。這種新沉積技術(shù)有助于推進設(shè)備設(shè)計，加速特種市場的產(chǎn)品路線圖發(fā)展?！?/p>

通過先進薄膜驅(qū)動高性能設(shè)備

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